Ένας μετρητής ροής SCCM μετρά τη ροή αερίου σε μικρές ποσότητες και σε χαμηλές πιέσεις. Είναι σημαντικό σε βιομηχανίες όπως η κατασκευή τσιπ υπολογιστών όπου ο έλεγχος της ροής αερίου είναι εξαιρετικά σημαντικός για εργασίες όπως η τοποθέτηση χημικών σε τσιπ, η κατασκευή σχεδίων ή ο καθαρισμός με αέριο.
Ένας τύπος ροόμετρου SCCM ονομάζεται μικρομετρητής ροής μάζας θερμικής μάζας. Λειτουργεί βλέποντας πώς ένα αέριο ψύχει έναν θερμό αισθητήρα. Όσο πιο ψυχρό γίνεται, τόσο πιο γρήγορα ρέει το αέριο.
Οι μετρητές ροής SCCM πρέπει να είναι πραγματικά ακριβείς, ευαίσθητοι και καλοί στο χειρισμό μικροσκοπικών ροών αερίου. Αυτό είναι εξαιρετικά σημαντικό σε μέρη όπου ακόμη και μια μικρή αλλαγή στη ροή του αερίου μπορεί να προκαλέσει προβλήματα στη δημιουργία αντικειμένων, όπως τσιπ υπολογιστών ή φάρμακα.
Έτσι, οι μετρητές ροής SCCM είναι πραγματικά σημαντικά εργαλεία για να βεβαιωθείτε ότι όλα πάνε ομαλά σε βιομηχανίες που χρειάζονται ακριβή έλεγχο της ροής αερίου. Διασφαλίζουν ότι τα πράγματα παραμένουν σωστά, ακόμη και όταν εργάζεστε με μικρές ποσότητες αερίου.
