Ο μετρητής ροής μάζας χαμηλής ροής και ο ελεγκτής ροής της σειράς SRK-DL μπορούν να μετρήσουν εξαιρετικά χαμηλό ρυθμό αερίου έως και 2 sccm (2 ml/min). Ο μετρητής εξαιρετικά χαμηλής ροής χρησιμοποιείται συνήθως σε διάφορες εφαρμογές όπως η αέρια χρωματογραφία, η ανάλυση αερίων, η εργαστηριακή έρευνα και οι βιομηχανικές διεργασίες όπου απαιτούνται ακριβείς μετρήσεις ροής αερίου, μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως μετρητής χαμηλής ροής οξυγόνου, μετρητής ροής αέρα χαμηλής ταχύτητας, ροή μετρητές για εφαρμογές χαμηλής ροής αζώτου (N2), μετρητής πολύ χαμηλής ροής βιοαερίου, μετρητής εξαιρετικά χαμηλής ροής για CO2 κ.λπ.
Μετρητής ροής θερμικού αερίου χαμηλής ροής/ελεγκτής ροής Αρχή εργασίας
Ο ελεγκτής ροής μάζας χαμηλής ταχύτητας ροής αποτελείται από έναν αισθητήρα ροής μάζας χαμηλής ροής, μια διάταξη στρωματοποιημένης ροής, μια βαλβίδα ρύθμισης ελεγκτή ροής και ένα κύκλωμα ελέγχου ενίσχυσης. Κατασκευάζεται χρησιμοποιώντας το φαινόμενο κατανομής μεταφοράς θερμότητας του ρέοντος ρευστού για την αλλαγή της κατανομής θερμοκρασίας του μετρούμενου τριχοειδούς τοιχώματος.
Αυτός ο ελεγκτής ροής μάζας χαμηλής ροής χρησιμοποιεί την αρχή της θερμιδομετρίας διαφορικής θερμοκρασίας πριν και μετά την τριχοειδή μεταφορά θερμότητας για να μετρήσει τη ροή μάζας αερίου έως και 2 sccm, ανεξάρτητα από τη θερμοκρασία και την πίεση. Ενισχύστε το σήμα ροής που μετρήθηκε από τον αισθητήρα και, στη συνέχεια, συγκρίνετε το με την καθορισμένη τάση. Χρησιμοποιήστε τη διαφορά για να οδηγήσετε τη βαλβίδα ρύθμισης ελέγχου και ελέγξτε τη ροή κλειστού βρόχου μέσω του καναλιού για να γίνει ίση με την καθορισμένη ροή.
Προδιαγραφές ροόμετρου/ελεγκτή ροής χαμηλής ροής
- Εύρος ροής αερίου: 2 SCCM~ 30 SL/M, όπως 100 ml/min, 200 sccm, 1 LPM, 2 SLM, 5 λίτρα / λεπτό, 20 SLPM.
- Αναλογία απόρριψης: 50:1 για ψηφιακό ελεγκτή ροής μάζας. 100:1 για ψηφιακό μετρητή ροής μάζας.
- Ακρίβεια : ± 1% FS
- Γραμμικότητα : ± 0,5% FS
- Επαναληψιμότητα: ± 0,2% FS
- Χρόνος απόκρισης: ελεγκτής ροής μάζας < 2 δευτ. μετρητής ροής μάζας <0,8 δευτ
- Επικοινωνία: RS232/485.MODBUS
- Έξοδος: 0~5V,4-20mA,1-5V
- Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος : ±15VDC,24VDC
- Θερμοκρασία λειτουργίας: 0~50°C
- Μέγιστη πίεση λειτουργίας: 3MPa/10MPa
- Υλικό αισθητήρα ροής μάζας ή ελεγκτή ροής : Ανοξείδωτο ατσάλι
- Σύνδεση διαδικασίας ροόμετρου χαμηλής ροής: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
