Όπως και ο μετρητής ροής Coriolis, οι μετρητές θερμικής ροής μετρούν τη ροή μάζας, αλλά η τεχνολογία δεν είναι η ίδια. Αντί να χρησιμοποιούν ορμή ρευστού, οι
μετρητές ροής αερίου θερμικής μάζας χρησιμοποιούν τις θερμικές αγώγιμες ιδιότητες του αερίου.
Ο μετρητής ροής μάζας θερμικού αερίου μετρά τη διάκριση θερμοκρασίας μεταξύ ενός θερμαινόμενου αισθητήρα και του ρεύματος ροής περιβάλλοντος. Ο αισθητήρας ρυθμού ροής μάζας χρειάζεται τακτικά έναν ή περισσότερους αισθητήρες θερμοκρασίας για την ανίχνευση της θερμοκρασίας αερίου ή αέρα σε συγκεκριμένα σημεία.
Οι βιομηχανικοί μετρητές ροής θερμικής διασποράς χρησιμοποιούν μια ιδέα παρόμοια με τα ανεμόμετρα θερμού σύρματος. Τα μικρά, ευαίσθητα ανεμόμετρα χρησιμοποιούνται στο προφίλ ταχύτητας και στην έρευνα στροβιλισμού και είναι επιρρεπή σε θραύση και μόλυνση από βρωμιά. Αντίθετα, οι
βιομηχανικοί μετρητές ροής αέρα θερμικής μάζας χρησιμοποιούν ανθεκτικούς αισθητήρες θερμοκρασίας RTD που είναι καλύτερα προσαρμοσμένοι σε βιομηχανικά περιβάλλοντα, ενώ ταυτόχρονα μετρούν την ταχύτητα της απαγωγής θερμότητας για τον προσδιορισμό της ροής μάζας αερίου ή αέρα.
Το πλεονέκτημα των θερμικών ροών είναι από το ανταγωνιστικό χαμηλό κόστος τους, καθώς και από την ικανότητά τους να ανιχνεύουν αέρια χαμηλής πίεσης που δεν μπορούν να μετρήσουν ο
μετρητής ροής τύπου Coreolis . Ένα προφανώς πλεονέκτημα είναι ότι ο θερμικός μετρητής δεν χρειάζεται εξωτερική θερμοκρασία και διόρθωση πίεσης για άμεση λήψη μάζας αερίου.
Ενώ ο μετρητής ροής θερμικής διασποράς μπορεί να λαμβάνει μοναδικά μετρήσεις πολλές εφαρμογές μέτρησης ροής αερίου ή αέρα, όπως φυσικό αέριο,
μετρητής ροής βιοαερίου, μετρητής ροής πεπιεσμένου αέρα , αναλαμπής αέρα, άζωτο, ήλιο (He), συμπεριλαμβανομένου του αερίου διεργασίας και άλλης μεταφοράς εφαρμογές, αλλά δεν μπορούν να μετρήσουν τη μέτρηση ροής υγρού ή ατμού.