Ο μετρητής ροής μάζας εφαρμόζει τη θερμική μέτρηση, μετρώντας τη ροή μέσω της μέτρησης της μάζας των λαμβανόμενων μορίων. Λόγω της θερμικής μέτρησης, το αποτέλεσμα δεν θα επηρεαστεί από τις αλλαγές θερμοκρασίας και πίεσης του αερίου. Ως ακριβές, γρήγορο, αξιόπιστο, αποτελεσματικό, σταθερό και εύκαμπτο όργανο μέτρησης ροής, ο μετρητής ροής μάζας θα χρησιμοποιείται ευρέως στους τομείς της επεξεργασίας πετρελαίου και της χημικής βιομηχανίας. Έχει μεγάλες δυνατότητες για την προώθηση της μέτρησης ροής. Ο μετρητής ροής μάζας δεν μπορεί να ελέγξει τη ροή, αλλά ανιχνεύει τη ροή μάζας υγρού ή αερίου, με την έξοδο τιμής ροής μέσω αναλογικής τάσης, ρεύματος ή σειριακής επικοινωνίας.
Ωστόσο, ο ελεγκτής ροής μάζας είναι ένα όργανο που μπορεί να ανιχνεύσει, ταυτόχρονα να ελέγχει τη ροή. Ο ίδιος ο ελεγκτής ροής μάζας διαθέτει ηλεκτρομαγνητική βαλβίδα ρύθμισης ή πιεζοηλεκτρική βαλβίδα εκτός από το μέρος μέτρησης, έτσι σχηματίζεται ένα σύστημα κλειστού βρόχου που του επιτρέπει να ελέγχει τη ροή μάζας. Η καθορισμένη τιμή ενός ελεγκτή ροής μάζας μπορεί να παρέχεται με αναλογική τάση, αναλογικό ρεύμα ή υπολογιστή και PLC.
Ο μετρητής ροής θερμικής μάζας μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως μετρητής ροής συμπιεσμένου αέρα , O2, Ar, N2, CO2, He （ήλιο flow μετρητής ροής αερίου ， μετρητής ροής αερίου CO2, μετρητής ροής βιοαερίου και ούτω καθεξής.
