Ο μετρητής θερμικής ροής μάζας είναι ένα είδος μετρητή ροής αέρα ή πεπιεσμένου αέρα με μονάδες ροής CFM.
Οι περισσότεροι μετρητές ροής για να πάρουν το ρυθμό ροής μάζας πεπιεσμένου αέρα πρέπει να μετρήσουν τη μάζα της ροής και χρειάζονται επιπλέον συσκευές για τη μέτρηση της πίεσης και της θερμοκρασίας, έτσι ώστε να μπορεί να υπολογιστεί η ροή μάζας και η πυκνότητα.
Ωστόσο, ο μετρητής ροής αέρα θερμικής μάζας μετρά άμεσα τη ροή μάζας αέρα. Ως εκ τούτου, δεν επηρεάζεται από τις αλλαγές στη θερμοκρασία και την πίεση. Έτσι, ο μετρητής ροής μάζας δίνει πιο ακριβείς, αξιόπιστες και επαναλαμβανόμενες μετρήσεις από άλλους μετρητές. Έχει επίσης μεγαλύτερη εμβέλεια από άλλους μετρητές ροής.